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                                            • 產品名稱：單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

                                            • 產品型號：
                                            • 產品廠商：成越科儀
                                            • 產品文檔：
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹：
                                            單溫區旋轉PECVD，安裝有真空自動投料器，爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料，可以以額定的速率將粉料送入爐管，投料速率可通過調節轉速來更改?？蓪崿F在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面，有效的增強反應效果，提高反應速率，這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備，顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗，通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉，轉速可調，使得管內物料不斷的被攪拌混合，充分與氣體和等離子體接觸，使樣品的反應更加均勻穩定。
                                            詳情介紹：

                                            射頻電源

                                             

                                            輸出功率

                                            150W

                                             

                                            輸出精度

                                            ±1%

                                             

                                            射頻頻率

                                            13.56MHz

                                             

                                            射頻穩定度

                                            ±0.005%

                                             

                                            冷卻方式

                                            風冷

                                            1200℃單溫區管式爐

                                            供電電壓

                                            AC220V，50Hz

                                             

                                            *大功率

                                            2KW

                                             

                                            加熱溫區

                                            單個溫區200mm

                                             

                                            工作溫度

                                            *高1200℃，連續運行溫度應≤1100℃

                                             

                                            控溫精度

                                            ±1℃

                                             

                                            控溫方式

                                            AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

                                            三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護

                                             

                                            爐管材質

                                            高純石英

                                             

                                            爐管尺寸

                                            φ50x800mm

                                             

                                            密封方式

                                            真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

                                             

                                            可調轉速

                                            0-20rpm

                                             

                                            傾斜角度

                                            0-15°

                                             

                                            真空泵

                                            旋片機械泵

                                             

                                            極限真空度

                                            1.0E-1Pa

                                             

                                            進料方式

                                            真空漏斗加螺桿進料

                                            豫公網安備 41019702002438號
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