產品詳情
                                            • 產品名稱:PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積

                                            • 產品型號:CY-PE-HPCVD
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積由一臺雙溫區管式爐,一套鎢絲蒸發源,一套等離子發生裝置以及一套質量流量計組成。PE-HPCVD等離子增強物理化學氣相沉積適用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆。
                                            詳情介紹:

                                            PE-HPCVD等離子增強混合物理化學氣相沉積系統

                                            本產品是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(PE-HPCVD)雙溫區旋轉管式爐系統。該設備包括一臺雙溫區管式爐,一套鎢絲蒸發源,一套等離子發生裝置以及一套質量流量計系統。其工作原理是通過蒸發源將反應物在進氣端蒸發后通過氣流載入管式爐溫區內進行CVD反應,同時通過等離子增強促進反應的發生,適用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等。

                                            雙溫區管式爐

                                            產品型號

                                            CY-O1200-50IIT

                                            爐管材質

                                            高純石英

                                            爐管直徑

                                            50mm

                                            爐管長度

                                            1200mm

                                            爐膛長度

                                            440mm

                                            加熱區長

                                            200mm+200mm

                                            工作溫度

                                            0~1100℃

                                            控溫精度

                                            ±1℃

                                            控溫模式

                                            30段或50段程序控溫

                                            顯示模式

                                            高清全彩LCD觸控屏

                                            密封方式

                                            304不銹鋼真空法蘭

                                            供電電源

                                            AC:220V 50/60Hz  2.5kW

                                            RF輸出系統

                                            功率范圍

                                            0~300W可調

                                            工作頻率

                                            13.56MHz+0.005%

                                            工作模式

                                            連續輸出

                                            匹配阻抗模式

                                            能夠匹配,起輝均勻布滿爐管

                                            功率穩定度

                                            ≤2W

                                            正常工作反射功率

                                            ≤3W

                                            放大反射功率

                                            ≤70W

                                            諧波分量

                                            ≤-50dBc

                                            整機效率

                                            ≥70%

                                            功率因素

                                            ≥90%

                                            供電電壓/頻率

                                            單相交流(187V~153V) 頻率50/60Hz

                                            控制模式

                                            內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

                                            電源保護設置

                                            DC過流保護,功放過溫保護,反射功率保護

                                            冷卻方式

                                            強制風冷

                                            起輝長度

                                            在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管

                                            蒸發舟

                                            工作溫度

                                            1300℃

                                            蒸發源

                                            鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝

                                            熱電偶

                                            S型熱電偶

                                            工作電流

                                            ≤30A 

                                            *大功率

                                            500W

                                            流量計

                                            四路質子流量計

                                            流量范圍

                                            MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

                                            MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

                                            分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、

                                            測量精度

                                            ±1.5%F.S

                                            重復精度

                                            ±0.2%FS

                                            線性精度

                                            ±1%F.S.

                                            響應時間

                                            ≤4s

                                            工作壓力

                                            -0.15Mpa~0.15Mpa

                                            流量控制

                                            液晶觸摸屏控制,數字顯示,每路氣體含有針閥單獨控制

                                            進氣接口

                                            可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

                                            出氣接口

                                            可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

                                            連接方式

                                            雙卡套接頭

                                            工作溫度

                                            5~45℃

                                            氣體預混

                                            配氣體預混裝置

                                            真空系

                                             

                                            產品型號

                                            CY-GZK103-A

                                            分子泵

                                            渦輪分子泵

                                            前極泵

                                            雙極旋片泵

                                            抽氣速率

                                            分子泵:600L/S

                                            綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

                                            旋片泵:1.1L/S

                                            極限真空

                                            5×10E-4Pa

                                            抽氣接口

                                            KF40

                                            排氣接口

                                            KF16

                                            真空測量

                                            復合真空計

                                             

                                            豫公網安備 41019702002438號

                                            国产 精品 欧美 综合 在线