產品詳情
                                            • 產品名稱:實驗室多弧離子鍍鍍膜儀

                                            • 產品型號:CY-MIOP500S-2TA
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            實驗室多弧離子鍍鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上,實驗室多弧離子鍍鍍膜儀十分適合鍍硬質保護膜如TiN等
                                            詳情介紹:

                                            CY-MIOP500S-2TA多弧離子鍍鍍膜儀

                                            多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快,薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色,且膜層與基板結合牢固,故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。

                                            設計特色

                                            本設備配有兩個多弧靶,分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率,改善成效果,該鍍膜儀還采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。 


                                            產品型號

                                            CY-MIOP500S-2TA

                                            真空腔體

                                            水冷不銹鋼腔體

                                            φ500mm X 490mm(H)

                                            前開門式,配有φ100mm石英觀察窗

                                            內置兩組紅外加熱燈,可對腔體烘烤除氣

                                            預留多個CF接口,可安裝多路膜厚儀

                                            進氣系統

                                            質量流量計Ar氣0~200sccm,

                                            N2氣0~200sccm其他流量或者氣體可定制

                                            供電要求

                                            AC 220V 50Hz  10kW

                                            控制方式

                                            15英寸觸控屏 組態控制軟件

                                            多弧靶

                                            數量規格

                                            3英寸x2

                                            安裝方式

                                            腔體側方對置

                                            工作電流

                                            0~150A

                                            靶材厚度

                                            max50mm,min20mm

                                            樣品

                                            規格

                                            行星式掛架

                                            可懸掛樣品數

                                            每支掛架上6個掛點,共計6個掛架

                                            轉速

                                            公轉轉速1~20rpm

                                            真空系統

                                             

                                            產品型號

                                            CY-GZK103-A

                                            分子泵

                                            渦輪分子泵

                                            前極泵

                                            雙極旋片泵

                                            抽氣速率

                                            分子泵:600L/S

                                            綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa

                                            旋片泵:1.1L/S

                                            極限真空

                                            5×10E-4Pa

                                            抽氣接口

                                            KF40

                                            排氣接口

                                            KF16

                                            真空測量

                                            復合真空計

                                             

                                            豫公網安備 41019702002438號

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