產品詳情
                                            • 產品名稱:雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀

                                            • 產品型號:CY-MS500S-2TA1S
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
                                            詳情介紹:

                                            CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

                                            設備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

                                            設計特色

                                            1. 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。

                                            2. 真空室采用下置靶設計,樣品臺具有加熱和旋轉但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

                                            3. 設備真空獲得系統采用兩級真空泵組,前級泵為大抽速機械泵,有效縮從常壓至低真空的時間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統干凈快速。

                                            4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細,真空性能優異。

                                            5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效保證鍍膜質量。

                                            技術參數

                                            磁控濺射頭

                                            數量

                                            2英寸 x2

                                            冷卻方式

                                            水冷

                                            蒸發系統

                                            蒸發源

                                            鎢絲籃

                                            *高溫度

                                            1500℃

                                            熱電偶

                                            S型熱電偶

                                             

                                             

                                            真空腔體

                                            腔體尺寸

                                            φ300mm X 300mm

                                            觀察窗口

                                            φ100mm

                                            腔體材料

                                            304不銹鋼

                                            開啟方式

                                            前開門式

                                            真空系統

                                            機械泵

                                            旋片泵

                                            抽氣接口

                                            KF16

                                            抽氣速率

                                            1.1L/s

                                             

                                             

                                            分子泵

                                            渦輪分子泵

                                            抽氣接口

                                            CF150

                                            抽氣速率

                                            600L/s

                                            排氣接口

                                            KF40

                                            真空測量

                                            電阻規+電離規

                                             

                                             

                                            極限真空

                                            1.3x10-4Pa

                                            供電電源

                                            AC;220V 50/60Hz

                                            電源配置

                                            直流電源數量

                                            1臺

                                            輸出功率

                                            ≤1000W

                                            輸出電壓

                                            ≤600W

                                            響應時間

                                            <5ms

                                            射頻電源數量

                                            1臺

                                            輸出功率

                                            ≤1000W

                                            功率穩定度

                                            ≤5W

                                             

                                             

                                            射頻功率

                                            13.56MHz

                                            射頻穩定度

                                            ±0.005%

                                            膜厚監控系統

                                            膜厚儀測量分辨率

                                            ±0.03Hz

                                            測量精度

                                            ±0.5%

                                            測量上限

                                            50000

                                            測量速度

                                            100~1000ms

                                            水冷系統

                                            水箱容積

                                            9L

                                            流量

                                            10L/min

                                            供氣系統

                                            流量計類型

                                            質量流量計

                                            量程

                                            200sccm

                                            氣體類型

                                            Ar氣

                                             

                                             

                                             

                                            其他

                                            供電電壓

                                            AC220V,50Hz

                                            整機尺寸

                                            1400x750x1300mm

                                            整機功率

                                            4kw(主機+真空泵)

                                            整機重量

                                            295kg

                                            樣品臺 

                                            樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉速度1-20r/min


                                            樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準可調,旋轉速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



                                            豫公網安備 41019702002438號

                                            国产 精品 欧美 综合 在线