產品詳情
                                            • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

                                            • 產品型號:TN-PEC250G-HV
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
                                            詳情介紹:

                                            ○ 產品介紹

                                            TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

                                            ○ 適用范圍

                                            實驗室鍍膜使用。

                                            ○ 技術參數

                                            真空腔體
                                             高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
                                            蒸發腔體 
                                             高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
                                            等離子濺射腔體
                                             高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


                                             等離子濺射套件 

                                             濺射電壓1600V

                                            *大電流50mA
                                            靶面尺寸2英寸
                                            工作真空10Pa~20Pa
                                            工作氣氛需通入高純氬氣


                                            熱蒸發鍍膜套件

                                             蒸發源數量2個

                                            *大電流100A
                                            工作真空10^-3Pa
                                            工作氣氛不通入任何氣體
                                            樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


                                             


                                             碳蒸發套件

                                             蒸發方式碳棒蒸發

                                            *大電流160A
                                            工作真空10^-3Pa
                                            工作氣氛不通入任何氣體
                                            真空系統
                                             產品型號TN-GZK103-A
                                            分子泵渦輪分子泵
                                            前極泵雙極旋片泵
                                            抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
                                            旋片泵:1.1L/S
                                            極限真空5×10E-4Pa
                                            抽氣接口KF40
                                            排氣接口KF16
                                            真空測量復合真空計
                                            進氣系統
                                             配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
                                            供電要求
                                             AC 220V 50Hz

                                            ○免責聲明

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