產品詳情
                                            • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

                                            • 產品型號:CY-PECVD-R
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
                                            詳情介紹:

                                            旋轉PECVD 

                                            本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

                                            技術參數

                                            雙溫區管式爐

                                            產品型號

                                            CY-O1200-60IIC-R

                                            設備功率

                                            3KW

                                            爐管材質

                                            高純石英

                                            爐管尺寸

                                            Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

                                            爐膛長度

                                            440mm

                                            加熱區長

                                            200mm+200mm

                                            工作溫度

                                            0~1150℃

                                            極限溫度

                                            1200℃

                                            控溫精度

                                            ±1℃

                                            熱電偶類型

                                            K型熱電偶

                                            控溫模式

                                            30段程序控溫,PID參數自整定

                                            顯示模式

                                            高清全彩LCD觸控屏

                                            密封方式

                                            304不銹鋼真空法蘭

                                            供電電源

                                            AC:220V 50/60Hz  

                                            旋轉速度

                                            0~13rpm

                                            傾斜角度

                                            0~35°

                                            3路質量流量計

                                            產品型號

                                            CY-3Z

                                            氣路數量

                                            3路

                                            流量計類型

                                            質量流量計

                                            測量范圍

                                            A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

                                            測量精度

                                            ±1.5%

                                            工作壓差

                                            0.1~0.5MPa

                                            管路接口

                                            1/4英寸卡套接頭

                                            供電

                                            AC220V 50/60Hz

                                            真空系統

                                            真空泵

                                            雙極旋片泵

                                            抽速

                                            1.1L/s

                                            抽氣接口

                                            KF16

                                            泵極限真空度

                                            10E-1Pa

                                            供電

                                            AC220V 50/60Hz

                                            射頻電源

                                            信號頻率

                                            13.56MHz±0.005%

                                            功率輸出范圍

                                            0~500W

                                            *大反射功率

                                            100W

                                            射頻輸出接口

                                            50Ω,N-Type,female

                                            功率穩定度

                                            ≤5W


                                            豫公網安備 41019702002438號

                                            国产 精品 欧美 综合 在线