產品詳情
                                            • 產品名稱:離子源電子束蒸發鍍膜儀

                                            • 產品型號:
                                            • 產品廠商:成越科儀
                                            • 產品文檔:
                                            你添加了1件商品 查看購物車
                                            簡單介紹:
                                            該電子束蒸發方式鍍膜儀,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜
                                            詳情介紹:

                                            該電子束蒸發方式鍍膜儀,主要用于制備各種導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,微納器件微加工,電鏡樣品預處理等,尤其適用蒸鍍各種難熔金屬材料。不僅可用于玻璃片、硅片等硬質襯底,也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性襯底上鍍膜。

                                            電子束蒸發鍍膜儀設備技術參數

                                            使用條件

                                            環境溫度

                                            5℃~40

                                            電源

                                            380V

                                            功率

                                            20KW

                                            水壓

                                            2.5bar

                                            真空室尺寸

                                            蒸發室尺寸

                                            φ500×H500()

                                            過渡倉庫

                                            φ280×H300()

                                            電子槍

                                            新型電子槍1套,6穴坩堝

                                            離子源

                                            考夫曼離子源K08一套

                                            樣品轉盤

                                            樣品尺寸:≤φ150mm,樣品可旋轉,也可上下升降調節樣品到電子槍距離(樣品托形狀按用戶要求設計),加熱溫度≤500

                                            系統真空度

                                            極限真空

                                            12~24小時烘烤,連續抽氣5x10-5Pa

                                             

                                            抽氣速率

                                            從大氣開始40分鐘內真空度≤5x10-4Pa

                                             

                                            系統漏率

                                            整機漏率≤1×10-8Pa.L/s 停泵關機12小時后,測量真空室真空度≤10Pa

                                            抽真空系統

                                            TY1200分子泵+機械泵(VRD-30)系統,并設置旁路抽氣

                                            鍍膜監測

                                            采用TM160膜厚儀進行監測

                                            鍍膜厚度的不均勻度

                                            ≤3%

                                            豫公網安備 41019702002438號

                                            国产 精品 欧美 综合 在线